10萬級無塵車間空氣凈化系統(tǒng)的清潔和維保一般由設備工程部和操作人員全面負責，需要制訂出清潔和維保計劃以及實施方法，并按計劃實施清潔和維保。
送風口、回風口應進行日常清潔
除例行的清潔與維保之外，根據(jù)空氣監(jiān)測結果或突發(fā)性異常情況的發(fā)生，必要時應進行臨時性的清潔與維保。
空調機組及機組用管道無滴、冒、跑、漏現(xiàn)象。
空調機組內設備半個月檢查一次傳動三角帶，每星期檢查臭氧發(fā)生器，半年1次風機加耐高溫潤滑油。
空調機組每隔一年檢修一次，每隔二年大修一次，并做好除銹處理及油漆。
其它設備、附件（靜壓箱、風閥、蒸汽管道、冷凍冷凝水管閥門及冷卻除污器及有關的電器設備等）的維護保養(yǎng)。
靜壓箱
用光照檢查是否有漏點。
靜壓箱定位，拉緊線材是否完好。
每2年油漆一次。
風閥
每年拉動風閥，調節(jié)手柄，使其達到開或關靈活，當調節(jié)風閥時，應慢慢打開或關小開啟度。
每2年對風管燈檢漏一次。
風管每處對其內部清洗，除污處理，具體步驟：拆除主風管，用酒精和飲用水清洗，小風管小彎處拆除，用洗滌劑和飲用水清洗，完畢后用干絲巾擦干，風管安裝以后應檢漏。
每年對風管定位材料檢查有無移位，松動及除銹，油漆。
保溫材料及層外包裹每年檢查一次，有無破損、松散。
空調用蒸汽管道和冷水、冷卻水管道、閥門。
管道及法蘭口每年檢查一次是否漏水。
閥門連接使用過程中應經常檢查。